去除多余的材料并獲得所需的形狀,尺寸以及創建復雜的功能是當今微制造技術的唯一目標。因此,微加工技術利用各種材料去除機制來制造微米特征以及微米/亞微米尺寸的成形表面。在最近的過去,為了滿足微制造的各種需求,使用不同的微加工技術變得流行。它包括利用能量的不同微加工方法,例如機械,熱,化學和電化學微加工。重點討論了微型USM,微型EDM,微型LBM,微型ECM。它包含基本的材料去除機制,設置細節,比較,工藝參數的影響,優勢和挑戰以及應用。它還涵蓋了不同的混合微加工工藝,這些工藝將兩個或多個微加工工藝相結合,以同時實現各個工藝的優勢。還考慮了各種順序微加工(SMM)工藝,這是微加工領域的最新發展,這基本上是一種加工策略,其中在同一機床上依次實施兩種或多種微加工技術,并試圖涵蓋越來越多的微加工。在單個工作站上的進程。加工圈官網